Статический контроль чистых помещений
(1) Основные принципы статического контроля
1 Определите уровень статического контроля
2 Минимизируйте генерацию статического заряда
3 Методы вентиляции и нейтрализации ускоряют рассеивание статического заряда и предотвращают накопление статического электричества
4 Защитите изделие от повреждения электростатическим разрядом
(2) Определить уровень статического контроля
1 Компоненты, узлы и оборудование оценка электростатической чувствительности
Уровень 1: подвержен повреждению от электростатического напряжения 0-1999 В
Уровень 2: подвержен повреждениям от электростатического напряжения 2000–3999 В
Уровень 3: подвержен повреждениям от электростатического напряжения 4000-5999 В
Если чувствительное статическое напряжение превышает 16000 В, нет необходимости принимать антистатические меры.
2 Классификация рабочей зоны электростатической защиты
Класс A: Позволять электростатическому потенциалу заземления не превышать ± 100 В
Класс В: допустимый потенциал заземления не должен превышать ± 1000 В
В реальных разработках электростатический потенциал составляет не более 100 В, 500 В, 1000 В и другие компоненты, компоненты и оборудование уровня 3, чувствительного к статическому напряжению.
(3) Минимизировать образование статического заряда
Это первый шаг в управлении трехступенчатым статическим электричеством. В этой чистой рабочей среде наилучшими мерами являются:
1 Попробуйте использовать подобное оборудование для уменьшения электростатического заряда, генерируемого в процессе разделения контактного трения;
2 Старайтесь использовать оборудование, которое проводит статическое электричество или материалы, рассеивающие статическое электричество, для уменьшения накопленного статического заряда, создаваемого процессом разделения контактного трения;
3 Постарайтесь сократить производственный процесс, уменьшив трение контакта и создав статический заряд.
(4) Выпуск и нейтрализация
Это второй шаг в управлении триодом статического электричества. Наиболее распространенной мерой в чистой комнате производства микроэлектроники является заземление, разряд статического заряда проводящими или рассеивающими материалами и статический заряд ионизированных потребителей.
1 земля
Чистая комната должна быть снабжена независимой системой электростатического заземления, включая систему заземления заземленной металлической сетки и систему заземления рабочей станции (рабочей площадки). Чтобы металлический корпус всего оборудования в комнате, металлический кронштейн мобильного оборудования, антистатическое оборудование и т. Д. Надежно и эффективно отводили статический заряд на землю, а электрификация работника заземлялась через браслет, и антистатические ботинки или ремешок на каблуках являются антистатичными. Земля вентилируется на землю. Земля, стена, потолок, перегородка и т. Д. Имеют жесткое заземление, а корпус оборудования, мобильное оборудование (автомобиль, стул, полка и т. Д.), Рабочее место и т. Д. Имеют мягкое заземление.
2 ионизации Сяо электрические
Неизбежно, что будут некоторые изолированные проводники, которые нельзя заземлить в компонентах, печатных платах, производственных линиях и рабочих станциях в чистом помещении. Изоляционные диэлектрические материалы (например, наиболее распространенные пластмассы) в некоторых средах часто используют потребители ионизации. Локально рассеивает статический заряд на этих объектах и чаще всего посредством ионизации воздуха для нейтрализации электростатического заряда, переносимого на изолирующую среду и на изолированный проводник.
3 проводящих статических и статических рассеивающих материалов
Проводящие материалы и материалы, рассеивающие статическое электричество, также являются хорошими материалами для удаления статического заряда из-за их электростатической проводимости и более безопасны, чем утечки из металлических проводников. Они обычно используются в качестве полов, стен, рабочих столов и контейнеров. Антистатическое оборудование, такое как пинцет и щетки.
(5) Защита от электростатического разряда, защита продуктов
Это последний шаг в трехступенчатом контроле статического электричества. В чистой комнате производства микроэлектроники, чтобы предотвратить возникновение электростатического разряда на электростатически чувствительных компонентах или компонентах, на печатных платах, одним из методов является обеспечение надлежащего заземления для компонентов и компонентов. Шунт должен «рассеивать» статический заряд, присутствующий на изделии; второй метод заключается в обработке упаковки и транспортировке электростатически чувствительного устройства с помощью соответствующих методов и материалов упаковки. Эти материалы эффективно защищают заряд от проникновения в продукт и уменьшают движение продукта в упаковке, создавая электростатический заряд.
На международном уровне полупроводники, плоские жидкокристаллические дисплеи, оптоэлектроника быстро развиваются, и интеграция становится все выше и выше. Появляются чипы размером 8–12 дюймов, диаметр чипов становится все меньше и меньше, а антистатические требования становятся все выше и выше, см. Таблицу 4.
Ассоциация ESD США начала пересматривать сталь для контроля электростатического разряда ANS ESD S20.20-1999 и внесла некоторые изменения в классификацию электростатической чувствительности SSD, см. Таблицы 5, 6 и 7.
Это дает пользователю компонента предупреждение о том, что могут потребоваться требования к контролю окружающей среды, независимо от того, производится ли человек или оборудование. Если допустимое напряжение в зоне EPA достигает 25 В, я боюсь, что нашему существующему антистатическому оборудованию, оборудованию, инструментам и технике придется приложить немало усилий.