Статический контроль чистой комнаты
1. Основные принципы статического контроля
(1) Определите уровень статического контроля
(2) Минимизируйте образование статического заряда.
(3) Метод вентиляции и нейтрализации ускоряет рассеяние статического заряда и предотвращает накопление статического электричества.
(4) Защитите продукт от повреждения электростатическим разрядом.
2. Определите уровень статического контроля.
(1) Классификация электростатической чувствительности компонентов, компонентов и оборудования.
Уровень 1: легко повреждается электростатическим напряжением 0-1999 В
Уровень 2: легко повреждается электростатическим напряжением 2000-3999 В
Уровень 3: легко повреждается электростатическим напряжением 4000-5999 В
Если чувствительное статическое напряжение превышает 16000 В, нет необходимости принимать антистатические меры.
(2) Классификация рабочей зоны электростатической защиты
Класс A: допускайте, чтобы электростатический потенциал земли не превышал ± 100 В.
Класс B: допускайте, чтобы электростатический потенциал земли не превышал ± 1000 В.
В реальном проекте электростатический потенциал не превышает трех уровней чувствительного к статическому электричеству напряжения соответствующих компонентов, компонентов и оборудования, таких как 100 В, 500 В и 1000 В.
3. Сведите к минимуму образование статического заряда в максимально возможной степени.
Это первый шаг в трилогии статического контроля. В этой чистой рабочей среде лучшими мерами являются:
(1) Попробуйте использовать оборудование с аналогичными свойствами, чтобы уменьшить электростатический заряд, возникающий в процессе разделения контактным трением;
(2) Старайтесь использовать статические проводящие или рассеивающие статическое электричество материалы, чтобы уменьшить накопление статических зарядов в процессе контактного трения и разделения;
(3) Попробуйте использовать производственный процесс, который снижает электростатический заряд, создаваемый разделением контактного трения.
4. Освобождение и нейтрализация
Это первый шаг в трехступенчатом процессе управления статическим электричеством. Обычными мерами в чистом помещении для производства микроэлектроники являются заземление с использованием проводящих или рассеивающих материалов для снятия статических зарядов и ионизирующих рассеивателей для нейтрализации статических зарядов.
(1) Заземление
Чистое помещение должно быть оборудовано независимой системой электростатического заземления (включая заземляющую металлическую опорную систему с сеткой, опорную систему заземления рабочей станции производственной линии), чтобы металлические корпуса всего оборудования в помещении, металлические опоры для мобильного оборудования, антистатические оборудование и т. д. может безопасно и эффективно снимать статические заряды. Положите его на землю. Заряженное электричество посоха заземляется через браслет и разряжается на землю через антистатический ремень для обуви или пяточного ремня, а затем через антистатическое заземление. Земля, стены, потолки, перегородки и т. Д. Имеют твердое заземление, а корпуса оборудования, мобильное оборудование (автомобили, стулья, полки и т. Д.), Верстаки и т. Д. - мягкое заземление.
(2) Ионизированный Xiao Electric
Компоненты и печатные платы, производимые и собираемые в чистых помещениях, производственных линиях и рабочих станциях, всегда неизбежны из-за наличия некоторых изолированных проводников и изоляционных диэлектрических материалов (таких как большинство обычных пластмасс), которые нельзя заземлить. В некоторых средах ионизирующие нейтрализаторы часто используются для локального рассеивания статических зарядов на этих объектах и чаще всего посредством ионизации воздуха для нейтрализации статических зарядов на изолирующей среде и изолированных проводниках.
(3) Статическое электричество и материалы, рассеивающие статическое электричество.
Материалы, проводящие статическое электричество, и материалы, рассеивающие статическое электричество, также являются очень хорошими материалами для разряда статического заряда из-за их проводимости статического электричества и более безопасны, чем разряды с металлическими проводниками. Обычно они используются в качестве полов, стен, верстаков и оборотных контейнеров. , Пинцеты, щетки и другое антистатическое оборудование.
5. Предотвращение электростатического разряда и защита продуктов
Это последний шаг в трилогии управления статическим электричеством. В чистой комнате производства микроэлектроники, чтобы предотвратить возникновение электростатических разрядов на компонентах или компонентах, чувствительных к статическому электричеству, печатных платах, одним из методов является обеспечение подходящего заземления или шунтов для компонентов и компонентов для&"рассеивания &"; статическое электричество, которое присутствует на продукте. Плата; Другой метод заключается в использовании подходящих методов упаковки и материалов для упаковки и транспортировки устройств, чувствительных к статическому электричеству. Эти материалы могут эффективно экранировать проникновение электрических зарядов в продукт и уменьшать статический заряд, возникающий при перемещении продукта в упаковочной коробке.
На международном уровне полупроводники, плоские жидкокристаллические дисплеи и оптоэлектроника быстро развиваются с все более высокими уровнями интеграции, более тонкими диаметрами проводов микросхемы и все более высокими требованиями к антистатике. Американская ассоциация ESD приступила к пересмотру программы контроля электростатического разряда ANS ESD S 20.20-1999 и внесла некоторые поправки в классификацию электростатической восприимчивости SSD.
Это дает пользователям компонентов предупреждение, независимо от того, производят ли оборудование персонал или оборудование, сообщая вам о требованиях к экологическому контролю, которые могут потребоваться. Если допустимое напряжение в зоне EPA достигнет 25 В, я боюсь, что нашему существующему антистатическому оборудованию, оборудованию, инструментам и технике придется нелегко.