Применение ионных вентиляторов в полупроводниковой промышленности
В цехе по производству полупроводниковых приборов выход интегральной схемы сверхбольших размеров значительно снижается из-за адсорбции пыли на чипе. Операторы производственного цеха носят чистый комбинезон. Если человеческое тело заряжено статическим электричеством, оно будет легко поглощать пыль и грязь, что повлияет на качество продукта, ухудшит его характеристики и значительно снизит выход. Если радиус частиц адсорбированной пыли больше ширины линии, а толщина пленки ниже, продукт, скорее всего, будет утилизирован. Необходимо создать систему электростатической защиты в процессе обработки и упаковки. Линия по производству упаковки для IC предъявляет более строгие требования к статическому электричеству. Чтобы обеспечить нормальную работу производственной линии, общую отделку антистатических строительных материалов для чистой фабрики и аппаратные меры для антистатической одежды для всего персонала, входящего в чистую фабрику и покидающего ее, упаковочное предприятие могут быть основаны на соответствующих национальных стандартах и реальной ситуации на предприятии. Компания установила корпоративный стандарт или специальные требования по антистатичности, чтобы соответствовать нормальной работе линии по производству упаковки. Ионный вентилятор также необходим для уменьшения накопления статического электричества и предотвращения непреднамеренного проникновения продукта.