В чем опасность статического электричества для упаковки ИС
В чем опасность статического электричества для упаковки ИС? Во-первых, повсюду можно увидеть причину статического электричества. С быстрым развитием науки и техники и высокой степенью автоматизации промышленного производства опасность статического электричества в промышленном производстве уже очевидна. Это может вызвать различные препятствия, ограничить повышение уровня автоматизации и повлиять на качество продукции. Вот основные причины образования статического электричества в сочетании с реальной ситуацией на нашем заводе в области упаковки интегральных схем и производственного процесса.
1. Высокопрочные материалы в основном используются для строительных и отделочных материалов в производственных цехах.
Процесс производства ИС требует использования чистой мастерской или сверхчистой мастерской. Размер частиц пыли, удаляющих пыль, необходимо изменить с прежних 0,3 мкм на 0,1 мкм, а плотность частиц пыли составляет около 353 частиц / м3. С этой целью, помимо установки различного оборудования для сбора пыли, для предотвращения образования пыли необходимо использовать неорганические и органические беспыльные материалы. Однако электрические характеристики строительных материалов не считаются показателем. Чистые цеха промышленных предприятий в технических условиях не предусмотрены. Материалы внутренней отделки, в основном используемые в чистом цехе фабрики IC: полиуретановый эластичный пол, нейлон, твердый пластик, полиэтилен, пластиковые обои, смола, дерево, белая фарфоровая плита, эмаль, штукатурка и так далее. Большинство вышеперечисленных материалов представляют собой полимерные компаунды или изоляторы. Например, удельное сопротивление тела из плексигласа составляет 1012 ~ 1014 Ом · см, а удельное сопротивление полиэтиленового тела составляет 1013 ~ 1015 нм. Следовательно, проводимость относительно низкая. Статическое электричество по какой-то причине непросто просочиться через них на землю, что вызывает накопление статического электричества.
2, статическое электричество человеческого тела
Различные действия и хождение взад и вперед операторов в чистой комнате, подошвы обуви и земля постоянно находятся в тесном контакте и разделении, а различные части человеческого тела также активны и трение. Будь то быстрая ходьба, медленная ходьба или бег рысью, будет генерироваться статическое электричество, которое является так называемым зарядом при ходьбе; человеческое тело встает после движения. , Рабочая одежда, которую носит человеческое тело, и поверхность стула отделяются после контакта с поверхностью стула, при этом также будет генерироваться статическое электричество. Если невозможно устранить электростатическое напряжение человеческого тела и прикоснуться к микросхеме ИС, это может вызвать поломку ИС по незнанию.
3. Статическое электричество, вызванное кондиционированием и очисткой воздуха.
Поскольку для производства ИС требуется относительная влажность 45-55%, необходимо одновременно проводить кондиционирование и очистку воздуха. Осушенный воздух направляется в чистое помещение через фильтр первичной очистки, фильтр средней эффективности, фильтр высокой эффективности и воздуховод. Как правило, скорость ветра в главном воздуховоде составляет 8 ~ 10 м / с, а внутренняя стенка воздуховода окрашена. Когда сухой воздух и воздуховод, сухой воздух и фильтр перемещаются относительно друг друга, будет генерироваться статическое электричество. Следует отметить, что статическое электричество более чувствительно к влажности. Кроме того, при транспортировке полуфабрикатов и продуктов IC будет генерироваться статическое электричество во время упаковки и транспортировки, что является одним из факторов статического электричества.
Во-вторых, статическое электричество очень вредно для ИС. Вообще говоря, статическое электричество имеет характеристики высокого потенциала и сильного электрического поля. В процессе электростатического заряда и разряда иногда образуются кратковременный сильноточный разряд и электромагнитный импульс (ЭМИ), генерирующие поля электромагнитного излучения с широким спектром. Кроме того, по сравнению с обычной электрической энергией электростатическая энергия относительно мала. В естественном процессе электризации-разряда параметры электростатического разряда (ЭСР) неконтролируемы, и это случайный процесс, который трудно повторить. Поэтому на его роль часто влияют люди. Игнорируется. Вред, который она наносит нам, поражает, особенно в области технологии микроэлектроники. По имеющимся данным, прямые экономические потери от статического электричества достигают нескольких сотен миллионов юаней ежегодно. Вред статического электричества стал серьезным препятствием для развития индустрии микроэлектроники.
В цехе по производству полупроводниковых приборов из-за адсорбции пыли на кристалле производительность ИС, особенно очень больших интегральных схем (СБИС), будет значительно снижена. Операторы в цехе по производству интегральных схем носят чистую спецодежду. Если человеческое тело заряжено статическим электричеством, оно легко впитывает пыль и грязь. Если пыль и грязь попадут на рабочую площадку, это повлияет на качество продукта, ухудшит характеристики продукта и значительно снизит Ic. Урожай. Если радиус адсорбированных частиц пыли превышает 100 мкм, а ширина линии составляет около 100 мкм, при толщине пленки менее 50 мкм продукт, скорее всего, будет утилизирован.