Классификация и применение чистых помещений
В настоящее время наиболее часто используемой системой классификации чистых помещений является Федеральный стандарт США FS 209E. Чистое помещение класса 100, обычно называемое чистым помещением, требует не более 100 частиц размером 0,5 микрона или более на кубический фут площади. Для чистого помещения класса 10 требуется не более 10 частиц размером 0,5 микрона на кубический фут площади, для чистого помещения класса 10 требуется не более 10 частиц размером 0,5 микрона на кубический фут площади, а для чистого помещения класса 1000 требуется не более 1000 частиц.
Вообще говоря, чистые помещения класса 1 в основном используются в микроэлектронной промышленности, которая производит крупномасштабные-интегральные схемы; Чистые помещения класса 10 в основном используются в полупроводниковой промышленности, где ширина полосы пропускания составляет менее 2 микрон; Класс 100 — это наиболее часто используемое чистое помещение, используемое для стерильных производственных процессов в медицине, хирургических процедурах, искусственных органах и производстве интегральных схем; Класс 1000 в основном используется при производстве оптических изделий и высококачественных миниатюрных подшипников, а также для испытаний авиационных гироскопов; Класс 10 000 применяется при производстве гидравлического и пневматического оборудования, а в некоторых случаях — при производстве продуктов питания и напитков; и класс 100 000 используется во многих отраслях промышленности, а также широко используется в пищевой промышленности, производстве напитков и фармацевтической промышленности.