Решения по электростатической защите для предприятий полупроводниковой промышленности
На предприятиях по производству полупроводников частицы пыли, прилипающие к компонентам, могут привести к повреждению, что приведет к значительному снижению производительности сверхбольших интегральных схем (ULSI). Операторы на этих производственных участках должны носить специальную одежду для чистых помещений, включая одежду, обувь, маски и перчатки, чтобы предотвратить накопление статического электричества на теле человека, которое в противном случае могло бы привлекать пыль и загрязняющие вещества.
Создание комплексной системы электростатической защиты имеет важное значение на этапах обработки, производства и упаковки; В частности, к линиям по упаковке микросхем предъявляются еще более строгие требования в отношении статического электричества. Для обеспечения бесперебойной работы производственных линий необходимо оборудовать объекты антистатическими строительными материалами. Кроме того, персонал, входящий в эти чистые помещения, должен быть оснащен антистатической одеждой. Помимо этих аппаратных мер, предприятия по упаковке должны разработать специальный набор антистатических протоколов, соответствующий национальным стандартам и их собственным конкретным эксплуатационным потребностям, чтобы предотвратить потери.
В дополнение к вышеупомянутым средствам индивидуальной защиты полупроводниковые предприятия часто используют следующие устройства для снятия статического электричества, которые являются обязательными компонентами любой эффективной стратегии защиты:
1. Ионизирующие воздушные пистолеты. Эти ручные инструменты позволяют операторам быстро удалять пыль с продукции с помощью струи ионизированного воздуха.
2. Ионизирующие воздушные форсунки. Это фиксированные компактные устройства, которые экономят место и идеально подходят для использования на сборочных линиях или на ограниченных рабочих станциях. Их также можно настроить для активации ножной педалью или датчиком.
3. Ионизирующие воздушные змеи (гибкие ионизирующие насадки). Разработанные для адаптации к различным производственным средам, они подходят для рабочих станций, где достаточно места, где не требуется ручное управление, но необходимо часто регулировать направление воздушного потока.
На некоторых сборочных линиях и рабочих станциях также следует устанавливать ионизирующие воздуходувки (вентиляторы), чтобы уменьшить накопление статического электричества и предотвратить случайное электростатическое разрушение компонентов. Наша компания предлагает подвесные ионизационные воздуходувки, которые обеспечивают большую зону действия для нейтрализации статического электричества, не занимая при этом ценного рабочего пространства; их можно выбрать в зависимости от размеров верстака или ширины сборочной линии.