Требования EPA к температуре и влажности
Необходимо контролировать температуру и влажность в анти статической рабочей зоне. Контроль влажности является ключевой мерой электростатической защиты. Требования EPA по контролю температуры и влажности:
(1) Производственные и эксплуатационные зоны являются районами с высоким риском статического электричества, а требования к контролю температуры и влажности следующие:
Температура: от 20 до 30 градусов по Цельсию
Относительная влажность (RH): 45-75%
(2) Температура и влажность других анти статических рабочих зон должны соответствовать общим требованиям:
Температура: от 20 до 30 градусов по Цельсию
Относительная влажность (RH): 30-75%
(3) В тех случаях, когда материалы продукции предъявляются особые требования к температуре и влажности окружающей среды, следует принимать соответствующие местные меры по обеспечению экологической безопасности в соответствии с характеристиками материалов и фактическими условиями.
(4) Термометр и гигрометр должны быть оборудованы в EPA, и запись должна быть сделана перед каждой сменой. Когда относительная влажность превышает указанный диапазон, персонал процесса должен быть уведомлен о координации технического обслуживания электроэнергии, санитарии окружающей среды и других департаментов для принятия надлежащих мер по увлажнению или обезвоживанию, таких, как распыление соответствующего количества воды на местах (в соответствии с требованиями безопасности), использование увлажнителя или обезвоживания и т.д.