Электростатическая адсорбция ионного вентилятора
В индустрии ЖК-дисплеев стеклянная подложка становится больше и способность привлекать заряды также увеличивается. Из-за большого размера субстрата любое загрязнение может привести к снижению урожайности. Как и другие отрасли по контролю загрязнения, индустрия ЖК-дисплеев искала новые материалы, которые могут решить проблемы ОУР. Материалы, используемые в чистых помещениях, также чаще используют антистатические ионные воздуходувки, и вместо традиционных материалов можно попробовать новые материалы на ватных тампонах и тряпках.
Самая большая проблема с контролем электростатического разряда в чистой комнате - это перемещение людей в чистой комнате. Поскольку люди носят много полиэфирных тканей, они генерируют много электрического заряда. Единственный способ удалить этот заряд в чистой комнате - заземление.
За последние пять лет было обнаружено, что система одежды, изготовленная из смеси углеродного волокна и ткани, обеспечивает требования к чистым помещениям для ISO 5 (класс 100).
Каждая часть одежды имеет одинаковую электропроводность и имеет электропроводящее соединение от капюшона до подошвы. Люди, работающие в чистом помещении, могут носить проводящую подошву без заземления при ношении такой одежды, чтобы они не были ограничены длиной провода заземления.
Появление такой рабочей одежды является результатом высоких требований к продукту, что помогает снизить низкую урожайность и высокий уровень плохих показателей, вызванных проблемами электростатического разряда в чистом помещении.
Не существует дешевого и быстрого метода ремонта ионного вентилятора ESD. Ключом является управление электростатическим разрядом, таким как ионный вентилятор с подвесным ламинарным потоком, или установка ионного вентилятора рядом с материалом, который необходим для управления электростатическим разрядом. По мере уменьшения размера чипа (IC) он становится более чувствительным к электростатическому разряду. Теперь контроль ESD не ограничивается защитой рабочей сети, но также контролирует пластину и персонал, производящий пластину. Многие компании с высокими стандартами контролируют ОУР таким образом.
